[发明专利]一种石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管及制备方法有效
| 申请号： | 202110219358.3 | 申请日： | 2021-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN112909097B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡杰 | 申请（专利权）人： | 贵溪穿越光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 庄露露 |
| 地址： | 335400 江西省鹰潭市贵溪市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子材料制备的技术领域，提供了一种石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管及制备方法。该复合薄膜晶体管是通过先制备氮掺杂石墨烯及氯化重氮苯改性黑磷烯，然后将二者加入去离子水中形成分散液，再将分散液采用交流电泳法在高掺杂硅基片上的源极和漏极之间的沟道中进行沉积，经自然晾干而制得。本发明制得的石墨烯/黑磷烯复合薄膜晶体管结合了石墨烯载流子迁移率高、黑磷烯开关电流比大的优点，并且稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 黑磷 复合 薄膜晶体管 制备 方法 | ||
【主权项】：
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