[发明专利]一种石墨舟工位间全自动转运系统在审
| 申请号： | 202110219872.7 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113113338A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 曹利运;许凤新;殷文杰;潘键;郭良伟;刘月良 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司： | 金华智芽专利代理事务所(普通合伙) 33307 | 代理人： | 陈迪 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨舟维护系统及其使用方法。参与维护的石墨舟均设有二维码，石墨舟维护系统包括有：下线工位、维护工位、上线工位、AGV运载车和电脑，电脑其内部设有石墨舟管理系统和调度系统；下线工位和上线工位上设有相机，下线工位、维护工位、上线工位上均设有机械手以及二维码扫描仪，本发明在各个已有的工位上增加机械手、相机、二维码扫描仪以及AGV运载车，通过电脑中的调度系统和石墨舟管理系统控制的协同控制，将现有石墨舟管理纸面记载转变成二维码记载，每个二维码对应记载有一个石墨舟的对应信息，同时石墨舟在各个工位之间的转移由现有的人工搬运转变为AGV运载车自动化搬运。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 舟工位间 全自动 转运 系统 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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