[发明专利]一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置在审

专利信息
申请号: 202110224539.5 申请日: 2021-03-01
公开(公告)号: CN113779860A 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 冯泽斌;梁赛;徐向宇;江锐;刘广义;刘斌;曹沛 申请(专利权)人: 北京科益虹源光电技术有限公司
主分类号: G06F30/27 分类号: G06F30/27;G06N3/04;G06N3/08
代理公司: 北京汲智翼成知识产权代理事务所(普通合伙) 11381 代理人: 陈曦;任佳
地址: 100176 北京市通州区经*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置。该方法包括如下步骤:建立用于准分子激光器能量模型辨识的门控循环网络;在多个预设时间内,以单个激光脉冲方式设置能量采集条件,采集用于准分子激光器能量模型辨识的训练数据集;采用训练数据集对已建立的门控循环网络进行训练,达到终止训练条件时,结束训练并得到准分子激光器能量模型。利用本发明所提供的方法,所辨识的准分子激光器能量模型产生的脉冲能量与实际脉冲能量的最大误差小于1.5%,可以满足准分子激光器能量特性控制的仿真需求。
搜索关键词: 一种 准分子激光 能量 模型 辨识 方法 装置
【主权项】:
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