[发明专利]一种铜钼合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法有效
| 申请号： | 202110224955.5 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113026018B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 邵勇;徐杨;朱永刚;顾维忠;彭聪;胡生望 | 申请（专利权）人： | 四川江化微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/34;C23F1/38;C23F1/44 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 620860 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种铜钼合金的蚀刻液组合物，按蚀刻液组合物的重量100％计，其主要组成为5～12％的过氧化氢、5～10％的有机酸、5～10％的有机碱和0～0.5％的蚀刻抑制剂；有机碱为空间位阻胺或者其主要组成包含空间位阻胺，空间位阻胺25℃的pK |
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| 搜索关键词： | 一种 合金 蚀刻 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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