[发明专利]压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110225364.X | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113008420A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 吕萍;胡维;李刚 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 秦卫中 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种压力传感器及其制造方法，该压力传感器包括：衬底，衬底中设置有收容腔；压力传感器主体，设置在收容腔中；第一梁结构，设置在收容腔中，并连接压力传感器主体与衬底，使得压力传感器主体悬浮于收容腔中；阻挡层，设置在压力传感器主体远离衬底的一侧，阻挡层和压力传感器主体之间设置有第一凸起状结构。本申请实施例提供的压力传感器能够有效地提高压力传感器的可靠性和抗冲击性。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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