[发明专利]一种具有纳米多级结构的金属Cr涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110227118.8 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113088904B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚强;肖珣;张金钰;吴凯;刘刚;孙军 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种具有纳米多级结构的金属Cr涂层及其制备方法，通过磁控溅射在洁净的硅基体上沉积制备具有纳米多级结构的金属Cr涂层，其原理是Ar气经辉光放电后产生高密度Ar |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 纳米 多级 结构 金属 cr 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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