[发明专利]一种旋转靶材溅射面的车削方法在审
| 申请号： | 202110227690.4 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113001114A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;B23B1/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转靶材溅射面的车削方法，所述车削方法包括依次进行的粗车削、半精车削、精车削与抛光；所述粗车削的进刀量为0.6‑1mm；所述半精车削包括依次进行的第一半精车削与第二半精车削，所述第一半精车削的进刀量为0.3‑0.5mm，所述第二半精车削的进刀量为0.1‑0.3mm；所述精车削的进刀量为0.08‑0.12mm；所述抛光包括依次进行的砂纸抛光与百洁布抛光；所述抛光结束后旋转靶材溅射面的粗糙度Ra≤10μm。本发明提供的车削方法特别适用于旋转靶材溅射面的车削，获得了优良的靶材表面效果，保证了靶材的溅射性能，提升了受镀物件的良率与品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 溅射 车削 方法 | ||
【主权项】：
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