[发明专利]一种铝靶材的制造方法有效
| 申请号： | 202110227710.8 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113025972B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/04;B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝靶材的制造方法，所述制造方法包括依次进行的切割铝锭、第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、压延与第三热处理；所述第二锻伸分为至少2步进行。本发明提供的铝靶材的制造方法使得铝靶材能够充分满足现行薄膜工艺的电阻率要求，提高了靶材的利用率，提升了溅射速率和镀膜质量，同时简化了制造流程，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
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