[发明专利]一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法

摘要

本发明公开了一种异常数据提醒的在线连续式晶圆瑕疵测量方法，通过连续式的输送装置对晶圆进行输送的工作，识别头收集数据，根据瑕疵部位的大小和深度生成对应的数据，输送装置设置有至少三个输送通道，同时设置有数量相同的识别装置和翻转装置，通过电机带动进行工作，其中输送装置可以为履带式，滚筒式或者是其他满足晶圆移动的输送装置，输送装置采用分段式的结构设计，通过不同转速的电机带动，在进行工作时，当物料接近识别头时，会降低晶圆的速度，便于识别装置对数据的采集，降低工作人员的工作量，同时提高整个工作的自动化程度，降低工作的难度，同时对瑕疵测量方法进行统一，更好的保证加工产品的质量。