[发明专利]石英薄膜谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 202110230331.4 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113395053B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰 | 申请（专利权）人： | 广州乐仪投资有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/215 | 分类号： | H03H9/215;H03H9/19;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 510805 广东省广州市花都区绿港三*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英薄膜谐振器及其制造方法。石英薄膜谐振器可以包括依次堆叠的基底、底电极、石英层、顶电极，其中，所述石英层包括位于谐振器有效区域内部的石英压电区和位于所述谐振器有效区域外的石英机械区；所述石英压电区的厚度小于所述石英机械区的厚度。本发明的石英薄膜谐振器同时包括较厚的石英机械区和较薄的石英压电区，因此既能够对外部应力、机械冲击和环境振动不敏感，有更高的可靠性和频率稳定性，又能实现目标频率。石英薄膜谐振器主要采用MEMS工艺流程和大尺寸晶圆级封装工艺，可以实现大批量、低成本的制作，且制作的器件精度高、一致性好。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 薄膜 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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