[发明专利]一种玻璃通孔加工方法在审
| 申请号： | 202110230850.0 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113045209A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 崔成强;杨斌;罗绍根 | 申请（专利权）人： | 广东芯华微电子技术有限公司;广东佛智芯微电子技术研究有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 广州鼎贤知识产权代理有限公司 44502 | 代理人： | 刘莉梅 |
| 地址： | 528225 广东省佛山市南海区狮山镇南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种玻璃通孔加工方法，包括：将待加工的平板玻璃置于碱性溶液超声清洗，用去离子水进行冲洗并干燥；采用激光对平板玻璃的目标区域进行照射；通过蚀刻液对平板玻璃进行刻蚀以形成通孔；对蚀刻后的平板玻璃进行超声清洗；按重量份计，蚀刻液按以下组份配制而成：氢氟酸40wt.％10～40份；纯水50～200份；辅酸1～40份；盐0.1～10份；表面活性复配剂0.05～5份；表面活性复配剂由表面活性剂与醋酸或含有1～3个碳原子的醇按照1:1～10比例复配而成；表面活性剂为辛基苯基聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基氯化铵、α‑烯基磺酸钠、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或多种。该加工方法打孔良率高，且孔壁光滑规整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 加工 方法 | ||
【主权项】：
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