[发明专利]声表面滤波器芯片多元化刻蚀方法在审
| 申请号： | 202110233278.3 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113067558A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王小伟;刘亚娟;汪洋 | 申请（专利权）人： | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;C23F1/00 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 吴小灿 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种声表面滤波器芯片多元化刻蚀方法，通过将位于晶圆层上同一个电路层中的薄铝层刻蚀件归于薄铝层，厚铝层刻蚀件归于厚铝层，针对所述厚铝层采用湿法刻蚀，针对所述薄铝层采用干法刻蚀，该湿法刻蚀和干法刻蚀混合使用，既有利于满足声表面滤波器功能的实现，又有利于提高单位时间内的产品产量，还有利于克服单一刻蚀中去胶困难的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 滤波器 芯片 多元化 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
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