[发明专利]一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置在审
| 申请号： | 202110233321.6 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112775543A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 成巍;豪斯特·艾克斯纳;安德烈·史泰克;马新强;马庆增 | 申请（专利权）人： | 山东省科学院激光研究所 |
| 主分类号： | B23K26/082 | 分类号： | B23K26/082 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 250000 山东省济南*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置，包括控制器，以及分别由控制器控制的超短脉冲激光器、二维振镜组件和f‑θ透镜，还包括多边形振镜，以及与控制器连接的多边形振镜转动装置，多边形振镜设有两个上下对称的多面反射基台，且两个多面反射基台之间的反射面夹角为90°。本发明可将超短脉冲发出的光束经多边形振镜、二维振镜反射，通过f‑θ透镜将光束均匀的作用在共建表面，以此实现超高速激光打孔、切割等工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高速 激光 工用 多边形 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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