[发明专利]一种薄膜砷化镓太阳电池上电极及其制备方法

摘要

一种薄膜砷化镓太阳电池上电极及其制备方法，所述薄膜砷化镓太阳电池上电极包括：底层金属栅极、介质层和顶层金属栅极，其中，所述底层金属栅极、所述介质层和所述顶层金属栅极由内向外依次设置于外延片的外表面上，所述底层金属栅极和所述顶层金属栅极连接。本发明提供的一种薄膜砷化镓太阳电池上电极及其制备方法具有如下优点和积极效果：使用局部绝缘型上电极结构，可以有效避免电池局部受压时造成的短路现象，保证电池输出效率；使用氧化物介质层作为绝缘结构，具有耐高温、结合力好、绝缘性强等特点；采用了光刻技术和真空蒸发技术制备上电极，具有工艺简单、技术成熟等特点。