[发明专利]发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜在审
| 申请号： | 202110233582.8 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112786415A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郝占海;蔡素枝;陆梁 | 申请（专利权）人： | 大束科技（北京）有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/063 | 分类号： | H01J37/063;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 高淑凤 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区回*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了氧化锆等低逸出功材料团易从发射针上脱落，影响电子源寿命的技术问题。该发射针结构位于电子源中发射电子，其包括针本体和低逸出功材料团，针本体的周壁上设置有容纳部，低逸出功材料团在烧结过程中形成有嵌入容纳部内的结合部位，且结合部位与容纳部的配合结构将低逸出功材料团夹固于针本体上。本发明的发射针结构能够将低逸出功材料团更为牢固的固定在针本体上，既能够增加储备氧化锆的数量，也能够增强低逸出功材料团与针本体结合的强度，防止低逸出功材料团脱落，延长了热场发射电子源的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 结构 电子 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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