[发明专利]一种硅基光波导传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110235407.2 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113093331A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李寒月;武爱民;吴龙生;周悦;张轶锦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/136;G02B6/138 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅基光波导传感器，由下至上包括硅衬底、埋氧层、顶层硅和上包层；其中，所述顶层硅上设置有通过电子束光刻及刻蚀形成的亚波长光栅槽微环结构。本发明将亚波长光栅做成槽结构，可增大光与分析物的相互作用强度；为进一步减小弯曲损耗，微环内侧光栅使用梯形结构，增大微环内侧的有效折射率，降低辐射损耗，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅基光 波导 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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