[发明专利]一种薄膜金属氧化物结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202110235465.5 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113026002A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 宋阳;许宏军;张雷;彭肇华 | 申请（专利权）人： | 陕西雷翔新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/12 | 分类号： | C23C18/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜金属氧化物结构，包括基板以及设置在基板上的金属氧化物薄膜；本发明首先将基板进行清洗，让基板保持洁净状态，让后续中金属氧化物薄膜能够紧密贴附在基板上，然后将金属氧化物溶胶采用旋转涂覆在基板上，然后采用梯度升温至金属氧化物薄膜，所以得到的金属氧化物薄膜重量较好，不会影响基板的使用，让基板使用起来更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 金属 氧化物 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
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