[发明专利]一种基于四区域等线宽相位调制光栅的面外位移传感单元有效
| 申请号： | 202110237134.5 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113048887B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 卢乾波;王逸男;王小旭;王学文;黄维 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 云燕春 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种基于四区域等线宽相位调制光栅的面外位移传感单元，属于位移传感技术领域；包括覆盖在被测物体上的铬膜、二氧化硅基底及覆盖于二氧化硅基底上的铬膜；将被测物体固定于固定外框的内顶面，在被测物体下表面覆盖一层铬膜；二氧化硅基底上表面均分为多个等宽的区域，每四个连续区域为一个单元；通过连接结构将二氧化硅基底水平固定于所述固定外框内的中部，并在二氧化硅基底每个单元的第一区域和第三区域表面覆盖一层铬膜，得到四区域等线宽相位调制光栅，由四区域等线宽相位调制光栅、覆盖在被测物体上的铬膜以及空气间隙构成了新型相位调制光学谐振腔；当空气间隙在每周期的10μm范围内时，该传感单元的面外位移测量灵敏度最高，可达0.25％/nm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 区域 相位 调制 光栅 位移 传感 单元 | ||
【主权项】：
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