[发明专利]利用磁控溅射法制备二氧化硅-二氧化钛复合气凝胶靶材及刚性膜制备方法有效
申请号: | 202110237612.2 | 申请日: | 2021-03-03 |
公开(公告)号: | CN112876093B | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 张鼎昊;孙晔;姜佩;陈建伟;白凤祥;韩连山;曹艳军;吴娜;刘鹏;张鼎新 | 申请(专利权)人: | 华豹(天津)新材料科技发展股份有限公司;山西华豹新材料有限公司 |
主分类号: | C03C17/245 | 分类号: | C03C17/245;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 梁晓婷 |
地址: | 301700 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: |
本发明提供了一种利用磁控溅射法制备二氧化硅‑二氧化钛复合气凝胶靶材及刚性膜制备方法,涉及玻璃隔热膜技术领域,包括:将钛源溶液和第一改性剂溶液混合,滴加磷酸铵水溶液,完全凝胶后陈化、置换,干燥、研磨,得到粒径200~2200nm的纳米TiO |
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搜索关键词: | 利用 磁控溅射 法制 二氧化硅 氧化 复合 凝胶 刚性 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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