[发明专利]用于自由曲面干涉检测的自适应补偿环形腔装置与方法有效
| 申请号： | 202110238263.6 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN113028981B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张磊;吴金灵;刘仁虎;俞本立 | 申请（专利权）人： | 安徽大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B9/02017;G01B9/02001;G01B9/02055 |
| 代理公司： | 合肥云道尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34230 | 代理人： | 闫兴贵 |
| 地址： | 230000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了及一种用于自由曲面干涉检测的自适应补偿环形腔装置与方法，属于光学检测领域，包括偏振干涉系统(L1)、自适应补偿环形腔系统(L2)、部分零位补偿镜(L3)和被测自由曲面(L4)。本发明利用自适应光学元件可变形反射镜设计出一种环形腔结构进行像差补偿，随着光束在环形腔内的多次循环反射，像差补偿量扩大到单一DM补偿范围的4倍，实现仅使用一个DM达到双DM级联的像差补偿范围，并且无需增加DM监测负载和解耦操作，因此，干涉仪检测的动态范围以低成本的方式增加了一倍。自由曲面面形检测和DM表面监测采用可旋偏振片进行控制，无需任何辅助设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 自由 曲面 干涉 检测 自适应 补偿 环形 装置 方法 | ||
【主权项】：
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