[发明专利]陶瓷制的圆柱状蜂窝结构体的检查方法及检查装置在审
申请号: | 202110238612.4 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN113466128A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 寺拝贵史;佐藤祥弘 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/88 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种圆柱状蜂窝结构体的检查方法,包括:将陶瓷制的圆柱状蜂窝结构体载放于旋转工作台的工序,该工序中,使第一底面为上侧,并以第一底面的重心与旋转工作台的旋转轴之间的距离为0.5mm以下的方式进行载放;向载放于旋转工作台的圆柱状蜂窝结构体的侧面照射波长为300~500nm的光的工序;将像素分辨率为1~25μm/pix的线阵传感器相机的景深调节为0.5~5mm,在所述光被照射于所述侧面的状态下,使圆柱状蜂窝结构体绕着所述旋转轴进行旋转,同时利用线阵传感器相机对来自所述侧面的反射光进行反复拍摄的工序;基于利用线阵传感器相机对所述反射光进行拍摄的工序的结果,生成整个所述侧面的检查图像;以及基于检查图像来判别所述侧面有无缺陷的工序。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 圆柱状 蜂窝 结构 检查 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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