[发明专利]亚表面缺陷的检测装置在审
| 申请号： | 202110238855.8 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113008796A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 冯胜;翟中生;王选择;谢博娅 | 申请（专利权）人： | 赤壁精迈光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 437315 湖北省咸宁市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种亚表面缺陷的检测装置，包括：光源组件，所述光源组件适宜于产生照明光，所述照明光为发散光；所述照明光耦合入待检测件中以形成波导光，所述波导光在所述待检测件中以导波模式传播；成像组件，所述成像组件包括：面阵图像传感器，所述面阵图像传感器适宜于采集被散射的波导光以获得缺陷图像；处理组件，所述处理组件适宜于对所述缺陷图像进行处理。所述检测装置能够实现多角度检测以提高成像效率；而且，成像组件中采用面阵图像传感器获得缺陷图像，配合呈发散光的照明光，能够避免扫描的方式的引用，从而避免机械振动干扰、降低同步控制难度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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