[发明专利]一种复合纳米多层薄膜及其制备方法以及医用手术刀具有效
| 申请号： | 202110239101.4 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112593188B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 肖瑶;林嘉晏;刘国栋;姚磊 | 申请（专利权）人： | 中南大学湘雅医院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 长沙智勤知识产权代理事务所(普通合伙) 43254 | 代理人： | 曾芳琴 |
| 地址： | 410008 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种复合纳米多层薄膜及其制备方法以及医用手术刀具，在衬底表面制备TiN/ZrN交替沉积的复合纳米多层薄膜，克服了现有技术中单种薄膜难以突破硬度30GPa的技术瓶颈。进一步地，深入研究了调制周期为30nm时不同调制比对复合纳米多层薄膜的硬度影响，结果表明，当调制比为R=1时，复合纳米多层薄膜表现出最为优异的表面硬度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 纳米 多层 薄膜 及其 制备 方法 以及 医用 手术 刀具 | ||
【主权项】：
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