[发明专利]一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺

摘要

本发明公开了一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，属于ITO靶材加工技术领域，该离心喷雾造粒工艺包括以下步骤：S1、称取In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到浆料；S2、将浆料通过砂磨机球磨，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；S3、通过风机抽取外界空气，以使空气依次经过滤器、加热器和集气管后通过造粒用的罐体内的布气管排入罐体，直至罐体内布满温度为130‑240℃的热气；将待造粒浆液通过进料管输送，以使待造粒浆液通过雾化器雾化后喷入罐体，从而得到所需造粒粉。本发明解决了ITO靶材喷雾干燥过程中，雾状原料干燥速率较慢的问题。