[发明专利]氢气传感器及其制备方法和氢气检测方法有效
申请号: | 202110245318.6 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN113155906B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 金崇君;姚乾坤;佘晓毅;沈杨 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 王秉丽 |
地址: | 510300 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明涉及一种氢气传感器及其制备方法和氢气检测方法。上述氢气传感器包括:衬底、设置在衬底上的氢敏薄膜和设置在氢敏薄膜远离衬底一侧的气体选择薄膜,气体选择薄膜覆盖氢敏薄膜,气体选择薄膜包括聚甲基丙烯酸甲酯膜。上述氢气传感器在氢敏薄膜表面设置一层气体选择薄膜作为保护层,对氢气具有高选择性,能够阻断空气中其他气体如O |
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搜索关键词: | 氢气 传感器 及其 制备 方法 检测 | ||
【主权项】:
暂无信息
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