[发明专利]石英晶体谐振器及其形成方法、电子设备有效
| 申请号： | 202110245408.5 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113285689B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H9/215 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶体谐振器以及具有其的电子设备，既能够满足高谐振频率要求，又能满足抗外部应力、抗机械冲击稳定性和可靠性的要求。该石英晶体谐振器包括垂直方向叠置的基底和主体功能结构，所述主体功能结构包括石英压电层、第一电极、第二电极和机械增强结构，所述基底与所述主体功能结构之间通过键合连接，其中，所述机械增强结构与所述石英压电层二者接触的接触区域的俯视投影，以及所述基底与所述主体功能结构二者键合的键合区域的俯视投影，二者具有重叠。本发明还公开了该石英晶体谐振器的形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶体 谐振器 及其 形成 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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