[发明专利]石英薄膜体声波谐振器及其加工方法、电子设备有效
| 申请号： | 202110246429.9 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113285685B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰 | 申请（专利权）人： | 广州乐仪投资有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 | 代理人： | 姜劲;谷惠敏 |
| 地址： | 510805 广东省广州市花都区绿港三*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种既能够满足高谐振频率要求，又能满足抗外部应力、抗机械冲击稳定性和可靠性要求的石英薄膜体声波谐振器及其加工方法、电子设备。该石英薄膜体声波谐振器从下至上地包括：基底、压电堆叠结构、机械增强结构和盖帽结构，其中，压电堆叠结构与机械增强结构在第一邻接位置互相连接，压电堆叠结构与基底在第二邻接位置互相连接，其中，第一邻接位置位于器件的非谐振有效区域内，并且第一邻接位置位于第二邻接位置的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 薄膜 声波 谐振器 及其 加工 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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