[发明专利]一种表面清洁装置在审
| 申请号： | 202110247601.2 | 申请日： | 2021-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN112808707A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 高佳 | 申请（专利权）人： | 东莞市峰谷纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 刘兴耿 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本发明中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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