[发明专利]一种LSPR多波长窄带可调谐传感器有效

专利信息
申请号: 202110248083.6 申请日: 2021-03-07
公开(公告)号: CN113030026B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 刘菲;秦璐 申请(专利权)人: 天津理工大学
主分类号: G01N21/552 分类号: G01N21/552
代理公司: 天津耀达律师事务所 12223 代理人: 张耀
地址: 300384 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 一种LSPR多波长窄带可调谐传感器,属于微纳光电子器件。在硅衬底上覆盖一层T2=1600nm的SiO2,在SiO2上覆盖一层厚度为T1=2200nm的氧化铝。将制备的石墨烯固定在Al2O3上,其上E字形金纳米颗粒周期排列。其周期P为1500nm,纳米颗粒长度和宽度t1=600nm,t2=120nm,t3=440nm,厚度h=30nm。本发明利用Au纳米颗粒有序阵列在非对称介质环境下与平板波导的耦合,产生Fano效应,得到多波长窄带反射谱。通过施加偏置电压或化学掺杂来改变石墨烯的费米能级,进而改变它的电导率,从而实现光谱的动态可调谐。
搜索关键词: 一种 lspr 波长 窄带 调谐 传感器
【主权项】:
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