[发明专利]一种气固反应快速制备β-Si3

摘要

本发明公开了一种气固反应快速制备β‑Si3N4的装置及其方法，涉及微细硅粉废料回收再利用技术领域。所述装置的料仓底部依次与第一开合通道、第一连接通道、第一过渡仓顶部连通，第一过渡仓底部依次与第一开合通道、第二连接通道、反应仓顶部连通，反应仓底部依次与第二开合通道、第一连接通道、第二过渡仓顶部连通，第二过渡仓底部通过第一开合通道与传输仓顶部连通，传输仓物料出口与收集仓连通；第一连接通道为中空管道且侧壁上设置有压力表、真空泵和进气口，第二连接通道为中空管道且侧壁上设置有压力表和压力排气阀，第二开合通道中部设置有进气管道。上述装置操作简单方便、对环境友好，在节约能源方面优势明显，生产成本低，生产连续性好。