[发明专利]冷泵真空控制装置及其控制方法、系统和半导体加工设备有效
| 申请号： | 202110249069.8 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN113046716B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 于磊杰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷泵真空控制装置及其控制方法、真空控制系统和半导体加工设备，该冷泵真空控制装置包括与冷泵的抽气口连接的冷泵抽气管路和设置在冷泵抽气管路上的气动抽气阀、开关单元、吹扫单元和泄压单元，开关单元设置在气动抽气阀的控制气路上，用于在接收到控制模块发送的关闭信号或者开启信号时，断开或接通控制气路；吹扫单元与冷泵连接，用于向冷泵内部输送吹扫气体；泄压单元与冷泵连接，用于在冷泵的内部与外部的压力差超出预设阈值时自动排出冷泵内部的气体。本发明提供的冷泵真空控制装置及其控制方法、真空控制系统和半导体加工设备，其可以解决因压力过高而导致的抽真空泵负载过高，以及气体倒灌至其他冷泵或者腔室中的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 控制 装置 及其 方法 系统 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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