[发明专利]一种陶瓷封装基座有效
申请号: | 202110249306.0 | 申请日: | 2021-03-08 |
公开(公告)号: | CN113161297B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 李钢;邱基华 | 申请(专利权)人: | 潮州三环(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/15;H01L23/373 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 林德强 |
地址: | 515646 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种陶瓷封装基座。这种陶瓷封装基座包括绝缘基体和钨导电层;钨导电层设置于绝缘基体的至少一个表面上;绝缘基体由氮化铝陶瓷形成;其中,钨导电层包括W、Al和M,M表示稀土元素。本发明制备的氮化铝陶瓷封装基座热导率高,导电层结合力好,布线电阻小。这种氮化铝陶瓷封装基座适用于传感器领域,尤其是高功率的TOF模组封装,不仅解决了散热的问题,同时也能满足TOF工作环境的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷封装 基座 | ||
【主权项】:
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