[发明专利]一种可制备多级微结构的装置在审
| 申请号： | 202110249538.6 | 申请日： | 2021-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN113009783A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;林洁琼;陈斯;李洁;邹宸宇;郭金槄;许济琛;李超;陈文豪;范亚林;马海航;付斌;胡思达;黄洲 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 魏征骥 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种可制备多级微结构的装置，属于纳米压印领域。可升降平台一固定在机架的左侧板上，可升降平台二固定在机架的右侧板上，微调节装置一通过螺钉固定在可升降平台一上，微调节装置二通过螺钉固定在可升降平台二上，固定架左侧通过螺钉与可升降平台一连接、右侧通过螺钉与可升降平台二连接，压印装置通过圆柱卡扣与固定架滑动接触，支撑台通过螺钉固定在XY位移平台上，XY位移平台通过螺钉固定在机架的底板上。优点是堆叠精度高，使光辊上的微结构与平面衬底更好的线性接触，提高了堆叠的精度；便于多层堆叠：能够将光辊上压印好的单层微结构在平面衬底上进行不同层数的堆叠，使得制备多级微结构不受装置的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 多级 微结构 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春工业大学，未经长春工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110249538.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调节的笔
- 下一篇：一种装配式预应力地下连续墙及施工方法
