[发明专利]一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统有效
| 申请号： | 202110250385.7 | 申请日： | 2021-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN112815872B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 卢丙辉;刘国栋;刘炳国;庄志涛;陈凤东;甘雨;路程 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 杨晓辉 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种自然振动时空混合移相微球表面形貌检测系统，涉及的是光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本申请采用时域、空域混合移相的方式，以自然振动引入的随机移相量作为时域移相值，通过空域移相实时监测每帧主干涉图采集时由自然振动引入的具体移相值，并以此进行相位信息解算，最后得到的被测微球表面形貌不受环境因素中振动、空气扰动等因素的影响。它用于检测微球表面形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自然 振动 时空 混合 移相微球 表面 形貌 检测 系统 | ||
【主权项】：
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