[发明专利]一种晶体生长方法及装置有效
| 申请号： | 202110254960.0 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113061984B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张虎;张开端;史建伟;阴法波;张维刚;马振华 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B28/12;C30B29/36;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 张伟朴 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶体生长方法及装置，该方法包括：(1)准备阶段：将组装好的坩埚置于炉体内，炉体外套设有石英管，石英管包括石英管内层、夹层和石英管外层；夹层内设置有喷液板，喷液板上开设有多个第一喷液口；石英管内层开设有多个第二喷液口；(2)长晶阶段；(3)降温阶段：控制喷液板转动，使得第一喷液口和第二喷液口至少部分重合，冷却液经第一喷液口和第二喷液口喷射到炉体上。通过控制冷却液经第一喷液口和第二喷液口喷射到炉体上，使冷却液以小液滴形式作用到炉体上，有利于提高炉体降温的均匀性；且通过调节第一喷液口和第二喷液口重合部分，可实现炉体喷水量的定量调节和控制，可根据晶体生长不同阶段提供不同的温场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 方法 装置 | ||
【主权项】：
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