[发明专利]压力传感器及其制作方法、及电子设备有效
申请号: | 202110257462.1 | 申请日: | 2021-03-09 |
公开(公告)号: | CN113029403B | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 李伊梦;李向光;王超 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子股份有限公司 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/04 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开一种压力传感器及其制作方法、及电子设备。其中,所述压力传感器包括:基底,所述基底的表面开设有凹槽;石墨烯感应层,所述石墨烯感应层设于所述基底设有所述凹槽的表面,并覆盖所述凹槽以形成压力腔;以及压电材料层,所述压电材料层设于所述石墨烯感应层背向所述基底的表面。本发明的技术方案能够提高压力传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 及其 制作方法 电子设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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