[发明专利]压力传感器及其制作方法、及电子设备有效
| 申请号： | 202110257462.1 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113029403B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 李伊梦;李向光;王超 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种压力传感器及其制作方法、及电子设备。其中，所述压力传感器包括：基底，所述基底的表面开设有凹槽；石墨烯感应层，所述石墨烯感应层设于所述基底设有所述凹槽的表面，并覆盖所述凹槽以形成压力腔；以及压电材料层，所述压电材料层设于所述石墨烯感应层背向所述基底的表面。本发明的技术方案能够提高压力传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制作方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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