[发明专利]基于太赫兹时域光谱的等离子体密度测量方法有效
| 申请号： | 202110257733.3 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113038678B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 孙金海;蔡禾;朱先立;张旭涛;李进春;李粮生 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 张莉瑜 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于太赫兹时域光谱的等离子体密度测量方法，包括：利用太赫兹时域光谱系统分别测量无等离子体时的参考时域光谱和有等离子体时的样品时域光谱；对参考时域光谱和样品时域光谱分别进行傅立叶变换，得到对应的参考频谱和样品频谱；根据样品频谱与参考频谱的相位差和频谱幅度之比，结合等离子体的厚度，确定等离子体的介电常数的实部；基于等离子体的介电常数的实部，计算等离子体密度。本发明能够实现等离子体密度无接触式实时测量，可以为等离子体研究提供重要的参数输入与技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 赫兹 时域 光谱 等离子体 密度 测量方法 | ||
【主权项】：
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