[发明专利]一种带腔LTCC基板表面多层精密薄膜电路的制备方法有效
| 申请号： | 202110262911.1 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113115515B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐亚新;刘晓兰;段龙帆;卢会湘;赵飞;王康;庄治学;梁广华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十四研究所 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/06;H05K3/22;H05K3/24 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 050081 河北省石家庄*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及LTCC、薄膜及混合基板制造领域，特别涉及一种带腔LTCC基板表面多层精密薄膜电路的制备方法，主要包括带腔LTCC基板研磨抛光、腔体填充、表面薄膜电路图形制备、表面介质层制备等步骤。采用本发明的技术方案，可以提高带腔LTCC基板表面薄膜电路图形和介质层图形的线条精度，实现带腔LTCC基板表面多层精密薄膜电路的制备，使基板的功能集成度和应用频率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ltcc 表面 多层 精密 薄膜 电路 制备 方法 | ||
【主权项】：
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