[发明专利]MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 202110264305.3 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113029121A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李杨;阚枭;占瞻;杨珊;马昭;黎家健;洪燕;陈秋玉 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司;深圳导远科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括换能器、锚点结构、谐振环和设置于所述谐振环与所述锚点结构之间的若干质量块，所述锚点结构与所述质量块之间通过弹性组件相连接，所述弹性组件能够提供所述质量块沿所述谐振环径向方向的回复力，所述质量块与所述谐振环之间通过第一弹性件相连接，所述第一弹性件能够提供所述谐振环沿所述谐振环周向方向的回复力，使所述谐振环与所述质量块间只发生沿周向方向的相对位移；所述质量块关于所述MEMS陀螺仪的中心呈圆周分布，且所述质量块关于所述中心旋转对称，所述质量块的个数为8的整数倍；所述换能器关于所述中心呈圆周分布，且所述换能器关于所述中心旋转对称，所述换能器的个数为8的整数倍。本发明的MEMS陀螺仪具有更高的机电耦合水平、抗干扰能力以及灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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