[发明专利]炉门组件及真空设备在审
| 申请号： | 202110264541.5 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN112985076A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘强;左敏;吴兴华;胡彬;黎微明 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种炉门组件及真空设备。该炉门组件用于关闭或打开炉口，包括：炉门；连接板，活动连接于炉门的一侧，连接板被配置为可带动炉门关闭或打开炉口；及弹性件，设置于炉门与连接板之间，以提供使得炉门朝向连接板远离的运动趋势的弹力。与现有技术相比，本发明的炉门组件在接触到真空腔体的炉口处时可以自适应调节炉门与真空腔体的炉口处的接触面的平行度，进而达到较好的密封效果，降低了炉口与炉门密封不佳带到的漏气风险，大大提高设备的可靠性，且避免了关门轨道与炉口密封面的垂直度调试环节，有利于降低炉门的安装精度，提高了安装效率。 | ||
| 搜索关键词： | 炉门 组件 真空设备 | ||
【主权项】：
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