[发明专利]一种原位集成超表面相控阵列的红外彩色焦平面探测器有效

专利信息
申请号: 202110265605.3 申请日: 2021-03-11
公开(公告)号: CN113299671B 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 叶振华;王进东;叶文成;廖清君;崔爱梁;张伟婷;丁瑞军;何力 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: H01L27/144 分类号: H01L27/144;G01J5/10
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种原位集成超表面相控阵列的红外彩色焦平面探测器,通过在红外单色焦平面探测器衬底上原位集成超表面相控阵列,使宽谱段的红外光在透过超表面相控阵列后发生折射,折射角与光的波长一一对应,然后入射到红外单色焦平面探测器对应的亚像元位置,第一亚像元、第二亚像元、第三亚像元分别接收到不同信号,超像素单元输出单元信号,利用图像合成方法得到彩色图像。该探测器具有信号串扰小、结构简单、集成度高,利用超表面相控阵列和红外单色焦平面探测器生成红外彩色图像的优点。
搜索关键词: 一种 原位 集成 表面 相控阵 红外 彩色 平面 探测器
【主权项】:
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