[发明专利]用于氮化铝单晶抛光片（0001）面的极性面区分方法有效
| 申请号： | 202110266073.5 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN112986482B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 徐世海;张丽;赖占平;陈红娟;李晖;高飞;边子夫;李宝珠 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | G01N31/00 | 分类号： | G01N31/00;C30B33/10 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 李美英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于氮化铝单晶抛光片（0001）面的极性面区分方法，将100份去离子水中加入5~10份乙胺、15~30份6508异丙醇酰胺，使溶液混合均匀；将盛有混合溶液的烧杯置于加热台上，加热至60~70℃，用塑料镊子夹持将表面清洗后的（0001）面氮化铝双面抛光片放入烧杯之中，保持晶片两个抛光面与混合溶液充分接触，静置5~10分钟后将氮化铝抛光片取出；用去离子水冲洗干净，观察晶片的正反两个表面，其中仍保持光滑的为Al面，变粗糙的为N面。本发明的有益效果是：采用化学试剂腐蚀，并根据Al面和N面在试剂作用下的不同变化区分极性面，是一种较为理想的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 氮化 铝单晶 抛光 0001 极性 区分 方法 | ||
【主权项】：
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