[发明专利]一种高灵敏度的MEMS流量传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110266953.2 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113029264B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度的MEMS流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有隔热腔体，由衬底的上表面或下表面向内凹入形成；第一、第二介质层，依次形成于衬底的上表面，且第一、第二介质层在隔热腔体上方向上弯曲；加热元件及感温元件，形成于第二介质层的上表面；绝缘层，覆盖加热元件及感温元件，且局部刻蚀出接触孔；金属层，形成于绝缘层上，部分金属层通过接触孔与加热元件及感温元件连接。本发明通过在第一、第二介质层上预加压应力，使其在隔热腔体释放后发生形变，形成弯曲状的悬浮膜，以此来实现加强对流效果、提高换热效率的目的，从而增大上下游感温元件之间的温差，有效提高器件的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 流量传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛芯笙微纳电子科技有限公司，未经青岛芯笙微纳电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110266953.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种卧式研磨装置
- 下一篇：零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质
