[发明专利]掩膜安装装置及方法、成膜装置及方法、以及基板载置器有效
| 申请号： | 202110267602.3 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113388806B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 铃木健太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/34;H10K71/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在将掩膜安装到被保持于基板载置器并被输送的基板上时，可以提高成膜精度的技术。根据本发明，在只由基板载置器支承机构(8)支承与构成基板(5)的周缘部的多个边中的沿着规定方向配置的一对相对的边相对应的基板载置器(9)的一对周缘区域时的基板载置器(9)的挠曲量dc，比只由掩膜支承机构(16)支承与构成掩膜(6)的周缘部的多个边中沿着规定方向配置的一对相对的边相对应的掩膜(6)的一对周缘区域时的掩膜(6)的挠曲量dm大。 | ||
| 搜索关键词： | 安装 装置 方法 以及 基板载置器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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