[发明专利]一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110268751.1 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113029265B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/69 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法，该流量传感器包括：衬底，设有真空密闭隔热腔体；第一介质层，形成于衬底的上表面；加热元件、感温元件及金属电极，形成于第一介质层的上表面，其中感温元件对称分布在加热元件的两侧，加热元件及感温元件局部位于隔热腔体的上方；第二介质层，覆盖加热元件、感温元件、金属电极及通孔，且局部刻蚀出接触孔。本发明的MEMS流量传感器利用低压力化学气相沉积法的“保形效应”形成真空密闭隔热腔体，一方面可提高隔热腔体的隔热性能，另一方面可减少被测流体与隔热腔体之间的对流热损失，从而有利于降低器件功耗，并增大上下游感温元件之间的温差，有效提高器件灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 隔热 mems 流量传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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