[发明专利]一种掩膜版固定转移机械系统有效
| 申请号： | 202110269531.0 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113044573B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 钱超;余洋;黄斌;植启东 | 申请（专利权）人： | 南京深光科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210038 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版固定转移机械系统，包括垂直通道和十字水平通道，垂直通道竖直插设于十字水平通道的中心处并与之连通设置，垂直通道的底部下垂于十字水平通道的下方，垂直通道的内底部固定连接有液压杆，液压杆的端部固定连接有转运机构，十字水平通道内铺设有多条相互平行的轨道槽，轨道槽内设有多个轨道轮，十字水平通道上固定连接有驱动机构，驱动机构与多根皮带传动连接。优点在于：本发明可通过专用的使用运输通道来进行使用存储两者之间的对接，使其不会直接暴露在外部环境中，从而更好的防止掩膜版本身受到伤害，进一步降低掩膜版受到损坏的概率，同时调度更加方便快捷，提高了作业的效率和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 固定 转移 机械 系统 | ||
【主权项】：
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