[发明专利]一种双层热阻式薄膜热电堆型热流计及制备方法有效
| 申请号： | 202110269611.6 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113091956B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张丛春;郭林琪;金毅;杨伸勇;王禹森 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01K17/00 | 分类号： | G01K17/00;G01K7/02;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双层热阻式薄膜热电堆型热流计及其制备方法，包括：陶瓷基底；设置于陶瓷基底上的第一内热阻层和第一外热阻层；第一内热阻层材料的导热系数大于第一外热阻层材料的导热系数；设置于第一内热阻层和第一外热阻层上的若干对热电偶；若干对热电偶首尾搭接形成薄膜热电堆，且相邻对热电偶通过正极与负极热电偶对接串联；正极与负极热电偶相连的冷结点设置于第一内热阻层上方，正极与负极热电偶相连的热结点设置于第一外热阻层上方；分别设置于热结点、冷结点上的第二外热阻层、第二内热阻层；本发明的双层热阻层的厚度、材料导热系数之差增大了热电偶连结点的温差，增大了相应的电势输出，提高了热流测量的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 热阻式 薄膜 热电 热流 制备 方法 | ||
【主权项】：
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