[发明专利]中温化学气相沉积氮化钛涂层的装置及方法

摘要

本发明公开了中温化学气相沉积氮化钛涂层的装置，包括氨气输送装置、四氯化钛输送装置、反应器以及反应器加热装置，所述氨气输送装置与反应器连接，所述四氯化钛输送装置通过连接管与反应器连接，所述连接管设有加热器，所述反应器内放置目标样件；所述氨气输送装置向反应器输送氨气，所述四氯化钛输送装置向反应器输送四氯化钛，所述反应器加热装置对反应器进行加热，所述反应器内以氨气和四氯化钛对目标样件进行沉积反应。本发明还公开了中温化学气相沉积氮化钛涂层的方法，以TiCl4蒸汽及氨气在500℃及以上温度下实现了TiN涂层的制备，解决TiN涂层化学气相沉积工艺温度过高的问题，采用常压条件，提高了沉积工艺的可靠性和可重复性，降低了成本。