[发明专利]石墨盘的清洗方法有效
| 申请号： | 202110271196.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN114029300B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 黄文洋;林雅雯;黄国栋;黄嘉宏;杨顺贵 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/22 | 分类号： | B08B9/22;F26B21/14;F26B25/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨盘的清洗方法，其包括：使用第一清洗溶液对石墨盘进行第一次清洗，其中，所述第一清洗溶液为碱性清洗液；使用第二清洗溶液对所述石墨盘进行第二次清洗，其中，所述第二清洗溶液为加氧化剂的碱性清洗液；使用第三清洗溶液对所述石墨盘进行第三次清洗，其中，所述第三清洗溶液为酸性清洗液；使用第四清洗溶液对所述石墨盘进行第四次清洗，其中，所述第四清洗溶液为去离子水；对所述石墨盘进行干燥作业以获得所需规格的石墨盘。本申请的清洗方法不但操作简单、成本低廉、清洗效果较好，而且无需使用MOCVD炉内高温烘烤清洗，可以改善现有的石墨盘清洗方式中存在的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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