[发明专利]一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头在审
| 申请号： | 202110273512.5 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112987513A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 罗凤旺;吕复坡 | 申请（专利权）人： | 云南富端科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02;G02B7/04 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650000 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及紫外光刻机用的镜头设计、制造和装调技术领域，具体为一种用于光刻机的低应力窄带紫外镜头，该设计包括前镜组、中间镜组、光栏组、偏心调整机构组和后镜组，中间镜组镜框的偏心圆柱面与后镜组镜框配合，以及外偏心镜框与后镜组镜框配合形成双偏心结构，调整中间镜组镜框和外偏心镜框之间的位置关系以满足双偏心调整机构组光轴与中间镜组光轴重合，偏心机构压圈边缘固定于后镜组镜框上，将内偏心镜框、外偏心镜框固定在后镜组镜框内，该镜头的所有透镜工作面均未受机械应力施加，能够很好的保证镜头成像质量，减小畸变，并能够便捷的调节透镜同轴性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 应力 窄带 紫外 镜头 | ||
【主权项】：
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